特長

·可以自動連續(xù)高溫處理注入

·1價離子可注入350keV，2價離子可注入700keV（可選擇1價離子可注入430keV，2價離子可支持860keV）

·在雙端站實現(xiàn)高吞吐量（A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等，可根據(jù)客戶的要求構(gòu)建規(guī)格）

·可以進行鏈條注入，減輕操作員的負荷

·小型設(shè)計

·從試作到量產(chǎn)可以廣泛對應(yīng)